目前在中低压应用领域(比如1200伏器件),碳化硅外延的技术相对成熟。它的厚度均匀性、掺杂浓度均匀性以及缺陷分布可以做到相对较优的水平,基本可以满足中低压 SBD、MOS、JBS 等器件需求。
但在高压领域,目前外延片需要攻克的难关还很多。比如10000伏的器件需要的外延层厚度为100μm左右,该外延层的厚度和掺杂浓度均匀性比低压器件的外延层差很多,尤其是掺杂浓度的均匀性,同时它的三角缺陷也破坏了器件的整体性能。在高压应用领域,器件的类型趋向于使用双极器件,对外延层的的少子寿命要求比较高,也需要优化工艺来提高少子寿命。
当前国内外延主要以 4 英寸和 6 英寸为主,大尺寸碳化硅外延片占比逐年递增。碳化硅外延尺寸主要受制于碳化硅衬底尺寸,当前 6 英寸碳化硅衬底已经实现商用,因此碳化硅衬底外延也逐渐从 4 英寸向 6 英寸过渡。
随着碳化硅衬底制备技术的提升及产能扩张,碳化硅衬底价格正在逐步降低。在外延片价格构成中,衬底占据了外延 50%以上的成本,随着衬底价格的下降,碳化硅外延价格也有望降低。
免责声明:本文采摘自网络,本文仅代表作者个人观点,不代表英国正版365官方网站及行业观点,只为转载与分享,支持保护知识产权,转载请注明原出处及作者,如有侵权请联系我们删除。